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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD小型直流磁控濺射儀

小型直流磁控濺射儀

產品簡介

小型直流磁控濺射儀,觸摸屏控制,時間調節電流控制功率,還可調節鍍膜時間,有工藝儲存功能方便下次使用和工藝一致

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:2070
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品牌鄭科探濺射氣體氬氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏控制
樣品倉尺寸φ160mm靶材尺寸φ50mm
靶材材質金銀銅鎳鐵鉻等價格區間1-5萬
產地類別國產應用領域綜合

小型直流磁控濺射儀

輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作

小型離子濺射儀信息由南京舜儀實驗設備有限公司為您提供,如您想了解更多關于小型離子濺射儀報價、型號、參數等信息,歡迎來電或留言咨詢

離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統,對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體

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小型直流磁控濺射儀技術參數;

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口










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